以下是百級烘箱的溫度均勻性和顆粒物的驗證方法:
溫度均勻性驗證方法
準備設備:準備不少于3個溫度傳感器,如熱電偶或紅外線溫度計。
布置傳感器:將傳感器分別放置在烘箱的上、中、下三個位置,確保傳感器與烘箱內壁的距離適當,避免受到直接加熱元件的影響。
設定溫度:將烘箱溫度設定為所需驗證的溫度,如200℃或300℃。
記錄數據:啟動烘箱,待溫度穩定后,記錄不同位置的溫度數據。通常需要在設定溫度下持續記錄一段時間(如30分鐘),每隔一定時間(如每2分鐘)記錄一次溫度。
計算均勻性:計算各測量點的溫度差異,溫度均勻性一般要求在200℃時為±3℃,在300℃時為±4℃。也可以通過計算溫度均勻度,即在穩定狀態下,30分鐘內每次測量中實測最高溫度與最低溫度之差的算術平均值。
顆粒物驗證方法
測量設備:使用手持式激光顆粒物及粉塵連續式測試儀,或符合標準的離散粒子計數器(DPC),通過光散射原理檢測空氣中大于或等于規定粒徑的懸浮粒子濃度。
準備烘箱:在測量前,確保烘箱進入潔凈室之前經過凈化處理,例如使用蘇打水或酒精擦拭內膽、隔板、箱門內側及密封條,并充分晾干。然后通電工作一段時間,讓高效過濾器(HEPA)充分工作,將工作室內部原有的空氣經過凈化過濾。
測量過程:打開烘箱的測試孔,將顆粒物測試儀的探頭通過測試孔放入烘箱內部,測試孔用無塵布堵住,防止外部環境的空氣進入。測試結束后讀取數據。
判斷標準:百級無塵烘箱要求每立方米(1立方英尺)內不高于3520個(100個)顆粒物。具體標準為:在每立方英尺內,0.5微米的灰塵顆粒不超過100個,0.2微米灰塵顆粒不超過750個,0.3微米不超過300個,5.0微米不超過29個。
通過上述方法,可以有效驗證百級烘箱的溫度均勻性和顆粒物控制情況,確保其在生產過程中始終保持高潔凈度和穩定的溫度環境。