普通氮氣柜和晶圓FAB工廠氮氣柜的主要區別如下:

功能與控制精度

普通氮氣柜:主要用于一般防潮、防氧化需求,通過持續充入氮氣置換柜內空氣,達到防潮、防氧化的效果。

晶圓FAB工廠氮氣柜:專為半導體晶圓存儲設計,具備更高的濕度控制精度(1%-60% RH),能夠快速將濕度降至設定值,并通過智能控制系統自動充氮和停止供氣,顯著節約氮氣。

技術參數

普通氮氣柜:通常配備流量計手動調節氮氣流量,濕度控制范圍較寬(一般為10%-60% RH),精度相對較低。

晶圓FAB工廠氮氣柜:配備微電腦智能控制系統,濕度控制精度可達±3% RH,溫度顯示范圍為-9℃至99℃,濕度和溫度獨立顯示。

材質與結構

普通氮氣柜:材質通常為不銹鋼或烤漆鋼板,注重密封性和承重性。

晶圓FAB工廠氮氣柜:采用1.2mm優質鋼板,加強結構設計,內外表面噴塑處理,防靜電型號的靜電阻值在10^6^-10^9^歐姆之間,符合ESD行業標準。

節能與成本

普通氮氣柜:依靠流量計控制氮氣流量,氮氣消耗相對較高。

晶圓FAB工廠氮氣柜:通過智能控制系統,相比普通氮氣柜可節約80%以上的氮氣成本。

應用場景

普通氮氣柜:廣泛應用于電子元件、實驗室耗材、文物保存等領域,主要滿足一般的防潮、防氧化需求。

晶圓FAB工廠氮氣柜:專用于半導體晶圓存儲,確保晶圓在超低濕、無氧環境下安全存儲,防止氧化和受潮。

附加功能

普通氮氣柜:通常配備基本的流量計和密封門。

晶圓FAB工廠氮氣柜:具備高承重隔板、觀察窗、平面加壓鎖、警報裝置等附加功能,部分型號還可選配高承重支撐和防潮箱除濕裝置。

綜上所述,晶圓FAB工廠氮氣柜在功能、精度、節能和附加功能方面都優于普通氮氣柜,更適合對存儲環境要求極高的半導體晶圓存儲場景。