在半導體FAB工廠中，氮氣柜的節能設計和節約氮氣功能至關重要，以下是一些關鍵特點和技術參數，以幫助您選擇合適的節約型氮氣柜：
濕度控制與氮氣節約功能
濕度控制范圍：氮氣柜應能將濕度精確控制在1%-60% RH范圍內。
智能控制系統：配備微電腦智能控制系統，當濕度達到設定值時，系統會自動切斷氮氣供應；當濕度超過設定值時，系統會自動恢復供氣。相比傳統直充氮氣機型，這種設計可節約70%的氮氣消耗。
多點供氣系統
氮氣通過多個小孔均勻分布到柜內，避免單點供氣產生的死角，確保氮氣分布均勻。
節能設計
低能耗：部分氮氣柜采用低能耗設計，功率僅為8W。
智能休眠模式：內置智能休眠技術，進一步降低能耗。
其他技術參數
氮氣純度：氮氣純度需達到99.99%以上，以防止晶圓氧化。
溫度控制：雖然部分氮氣柜不直接調節溫度，但建議環境溫度保持在22±2℃，相對濕度40%-60%。
潔凈度：柜內潔凈度應達到ISO Class 5或更高。
密封性能：柜體密封性要高，確保外界空氣和污染物無法進入。
材質與結構
柜體材質：優先選擇304不銹鋼材質，適合在百級或千級無塵室內使用。
承重與結構：采用加強結構設計，承重性能好，內部無氮氣死角。
安全與監控功能
安全功能：具備氮氣泄漏報警、超壓保護、緊急停機等功能。
聯網監控：部分氮氣柜支持聯網監控，通過以太網接口實時讀取溫濕度及含氧量數據。
定制化與擴展性
定制化服務：可根據存儲物品的尺寸和數量，選擇可定制隔板設計和尺寸的氮氣柜。
系統升級：部分型號支持未來升級，如節氮除濕模組、自制氮氣裝置等。
其他節能設計
快速降濕功能：部分氮氣柜具備快速降濕功能，能在數分鐘內將濕度降到設定值，特別適合頻繁開關門的作業場所。
防靜電設計：防靜電機型表面處理采用防靜電烤漆，靜電阻值在10^6^-10^9^歐姆之間。
通過以上功能和技術參數，半導體FAB工廠可以顯著降低氮氣消耗，同時確保存儲環境的穩定性和安全性。
| 產品容積 | 內徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統，SMC節氮模組 | |
