產品用途
MOL-2DS雙倉獨立運行潔凈烤箱主要用于FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料的無塵烘干和固化,如BPO膠、PI膠、BCB膠的固化,以及IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)等的封裝后烘烤。此外,它還可用于電工產品、材料、零部件等在高溫潔凈和無氧環境中的干燥和老化試驗。
技術參數
工作室尺寸:400mm(寬)×350mm(深)×500mm(高)。
總消耗功率:3KW。
潔凈度:Class 100(立方英尺內≥0.5μm塵粒≤100,立方米內≥0.5μm塵粒≤3520)。
容積:140L。
溫度范圍:RT+20℃~+250℃。
升溫時間:30分鐘以內(室溫~+250℃)。
溫度波動度:±0.5℃。
溫度均勻度:200℃時誤差為±3℃。
隔板:2層。
工作室材質:SUS304#不銹鋼。
外殼材質:SUS304#不銹鋼。
隔熱材料:玻璃棉。
加熱器:覆套式電熱器。
進氣口:φ6mm(可接氮氣或潔凈空氣)。
出氣口:φ5mm自動開啟排風門。
溫度調節方式:PID控制方式。
溫度運轉方式:定值運轉,程序運轉。
溫度設定范圍:0~+250℃。
溫度設定方式:數字式。
溫度顯示方式:LED數字顯示。
溫度傳感元件:K型熱電偶。
安全保護裝置:包括輸入斷線檢測功能、上限溫度過熱報警功能、蜂鳴器報警功能、自動溫度過熱防止功能、自動診斷功能。
定時功能:0.1~999.9H。
設備特點
高潔凈度:采用耐高溫高效過濾器(H.E.P.A過濾器),過濾等級可達Class 100。
無氧環境:通過充入氮氣降低箱內氧氣含量,含氧量可控制在100PPM以下。
溫度控制精準:溫度波動度小,控制精度高。
雙腔體設計:上下兩箱獨立控制,可同時進行不同工藝的烘烤。
結構與材質:內膽采用SUS304鏡面不銹鋼板,外壁采用1.5mm厚度A3冷軋鋼板,靜電噴塑。
應用場景
該設備廣泛應用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。它特別適合對潔凈度要求極高的工藝,如Class 100級別的無塵環境。
安全保護措施
漏電斷路器。
控制線路保險絲裝置。
超溫防止保護裝置。
總結
MOL-2DS雙倉獨立運行潔凈烤箱以其高潔凈度、無氧環境、精準的溫度控制和靈活的雙腔體設計,滿足了多種高精度工藝需求,是半導體、電子元件制造等領域不可或缺的設備。