氮氣柜在保護晶圓上起到的作用分析 - 蘇州三清儀器有限公司官方網站

氮氣柜在保護晶圓Wafer方面具有重要作用，以下是其深度解析：

提供惰性氣氛

防止氧化：氮氣是一種惰性氣體，化學性質穩定，不易與其他物質發生反應。在氮氣柜中，高純度的氮氣（通常要求達到99.99%以上）能夠有效隔絕晶圓與外界空氣的接觸，減少晶圓表面的氧化。

減少化學反應：氮氣柜內充滿純凈的氮氣，減少了氧氣和其他有害氣體的存在，從而防止晶圓與其他材料發生化學反應，保護晶圓的完整性。

控制濕度

低濕度環境：氮氣柜內的濕度通常能夠控制在10%RH以下，甚至可以達到1%RH以下。低濕度環境能夠有效降低晶圓表面的水分含量，防止水分對晶圓的氧化和腐蝕，保持晶圓的穩定性和可靠性。

防止濕敏元件失效：對于濕敏元件，低濕度環境可以避免其吸濕后性能下降，甚至失效。

保持潔凈環境

無塵環境：氮氣柜能夠提供一個無塵的環境，防止空氣中的微粒和污染物對晶圓造成污染。這對于保證晶圓的純凈度和質量至關重要。

高效過濾：潔凈氮氣柜通常配備高效過濾器（如HEPA過濾系統），以確保柜內空氣的潔凈度達到ISO Class 5或更高。

防靜電措施

防靜電保護：晶圓芯片對靜電敏感，氮氣柜采取了一系列防靜電措施，如設立靜電地板、接地裝置和靜電屏蔽等。這些措施可以有效防止靜電對晶圓芯片造成損害。

提高存儲壽命

延長使用壽命：在低氧、低濕度、低污染的環境下，晶圓的氧化和腐蝕速度會減緩，從而延長其使用壽命。

減少壓電效應：高濃度的氮氣可以減少壓電效應的發生，從而穩定芯片的性能。

穩定存儲環境

溫度控制：雖然部分氮氣柜不直接調節溫度，但環境溫度應保持在22±2℃，相對濕度40%-60%，以確保晶圓品質。

均勻供氣：氮氣柜通過多點供氣系統，確保柜內氮氣分布均勻，避免死點死角。

智能化與節能環保

智能控制系統：配備微電腦智能控制系統，可設定濕度、自動切斷氮氣供應，節約氮氣。

節能環保：氮氣消耗量降低40%，新型分子篩材料的使用壽命延長至5年以上。

定制化與安全性

定制化服務：根據存儲物品的尺寸和數量，選擇可定制隔板設計和尺寸的氮氣柜。

安全功能：具備氮氣泄漏報警、超壓保護、緊急停機等功能。

通過以上措施，氮氣柜能夠有效地保護晶圓免受氧化、潮氣、污染和靜電等不利因素的影響，從而確保晶圓的質量和可靠性。

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