<無氧潔凈烤箱>半導體PI膠固化用無氧潔凈烤箱

在半導體制造中，PI（聚酰亞胺）膠固化需要使用無氧潔凈烤箱，主要原因如下：

防止氧化反應

PI膠在高溫固化過程中容易與氧氣發生氧化反應，導致材料性能惡化，如降低絕緣性能、機械強度和化學穩定性。無氧環境可以有效避免這些氧化反應，確保PI膠的性能不受影響。

提高固化質量

無氧環境能夠使PI膠的固化反應更加純凈和均勻，減少副反應的發生。例如，氧氣可能引發不必要的氧化交聯反應，影響光刻膠的性能和圖案精度。在無氧環境下，固化后的PI膠薄膜具有更好的均勻性和邊緣清晰度。

保護半導體材料

半導體晶圓在高溫下容易被氧化，尤其是在其表面有金屬層或其他敏感材料時。無氧潔凈烤箱可以防止晶圓表面氧化，保護其電學性能。

潔凈環境需求

半導體制造對環境的潔凈度要求極高。無氧潔凈烤箱通過內部循環風道和高效過濾器，確保內部環境的高潔凈度，防止灰塵和其他雜質對PI膠固化和晶圓表面造成污染。

綜上所述，無氧潔凈烤箱為PI膠固化提供了無氧、低濕、潔凈的環境，能夠顯著提升固化質量和半導體器件的性能，是半導體制造中不可或缺的設備。