潔凈烘箱的潔凈度等級通常是根據其內部空氣中懸浮顆粒的數量和大小來確定的，具體可以參考以下標準和方法：
國際標準：
ISO 14644標準：這是最常用的國際標準之一，將潔凈室的潔凈度等級劃分為九個級別，從ISO 1到ISO 9。例如，ISO 1是最高潔凈度等級，適用于對潔凈度要求極高的場合，如集成電路制造。潔凈烘箱的潔凈度等級也可以根據這個標準來確定，比如某些潔凈烘箱在溫度穩定時可以保持100級清潔度。
美國聯邦標準209E：這也是一個常用的分類方法，將潔凈間的潔凈程度分為不同等級，從最潔凈的級別（Class 1）到最低潔凈度的級別（Class 9）。
測試方法：
粒子計數法：通過使用粒子計數器來測量潔凈烘箱內空氣中不同粒徑的懸浮顆粒數量。根據測得的粒子濃度與標準限值進行比較，從而確定潔凈度等級。
采樣點設置：在潔凈烘箱內設置多個采樣點，每個采樣點的平均粒子濃度應小于或等于潔凈度等級規定的限值。
設備和材料：
高效過濾器：潔凈烘箱通常配備耐熱高性能過濾器，以確保空氣的潔凈度。例如，使用HEPA過濾器可以有效去除空氣中的微小顆粒，從而提高潔凈度。
冷卻裝置：一些潔凈烘箱還配備了獨特的冷卻裝置，以在高溫烘烤過程中保持潔凈環境。
通過這些標準和方法，可以準確地確定潔凈烘箱的潔凈度等級，以滿足半導體封裝等高精度工藝的需求.
