控氧氮氣柜利用外接氮氣氣源充入氮氣柜內部,可以有效的控制柜體內部的氧氣含量且可以精準的顯示,特別適合半導體微電子行業存放晶圓,芯片等。三清儀器氮氣柜控制系統內置進口配件,性能穩定可靠,不受外界干擾。采用自動程控感應系統,當箱內的濕度達到設定值時,系統會自動切斷氮氣供應;當箱內的濕度超過設定值時,系統會自動打開氮氣供應來降低箱體內的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統,防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內的氮氣均勻性,箱內無氮氣死角,防止物料受潮氧化,更好的保護存放的物料。

SUS304雙鏡面不銹鋼材質加強設計,結構牢固,承重性能和箱體氣密性優越。門窗鑲嵌高強度鋼化玻璃,平面加壓把手設計。安裝導靜電萬向腳輪,方便移動和定位。配備高端氮氣進氣流量計。高強度載重移動式層板,可根據存放的物料隨意調節每層層板之間的高度,存放物料更方便,空間利用率更高。氮氣柜溫濕度管理記錄功能,實時監控氮氣柜內溫濕度變化,使用相關軟件后,可支持在電腦界面實時顯示溫濕度曲線圖及保存打印歷史記錄數據。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜