晶圓通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數以百萬計的晶體管,被廣泛應用于集成電路的制造。切片后的晶圓片十分脆弱,稍不注意可能會被毀壞,由于成本較高需要放置在CASSETTE提籃或晶舟盒內存放,再者為了避免長期暴露在空氣中發生氧化及被顆粒物污染,需要使用不銹鋼氮氣柜來保管存儲晶圓片CASSETTE。

三清儀器智能不銹鋼材質氮氣柜,潔凈等級高,自身不產塵,在千級或百級無塵室中,專門用來存儲晶圓的CASSETTE,智能供氮控制系統,配合多點供氣氣路,可大大的節約氮氣的消耗且能確保氮氣柜內部的氮氣分布均勻無死角。控氮機芯采用金屬外殼(或SUS304不銹鋼)制作。內置進口配件,性能穩定可靠,不受外界干擾。采用自動程控感應系統,當箱內的濕度達到設定值時,系統會自動切斷氮氣供應;當箱內的濕度超過設定值時,系統會自動打開氮氣供應來降低箱體內的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統,防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內的氮氣均勻性,箱內無氮氣死角,防止物料受潮氧化,更好的保護存放的物料。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜