<氮氣柜>常見的氮氣柜種類分析及晶圓Wafer專用氮氣柜

氮氣柜是一種密封性良好的柜體，通過充入高純度氮氣來降低柜內的氧含量，使得柜體內部處于一個惰性氣體的氛圍，用來保存各類活性度較高的物料。氮氣柜在半導體行業應用的非常廣泛，主要用來存儲Wafer晶圓，防止其暴露在空氣中發生氧化。

常見的氮氣柜，按材質分類約分為冷軋板噴塑材質，不銹鋼材質及透明亞克力板材質。按氮氣控制方式約分為氮氣直沖型，濕度控制型，壓力控制型。材質上冷軋板靜電噴塑和不銹鋼材質均為金屬材質，相對來說不銹鋼的潔凈等級更高，適用于百級或千級無塵室內使用。透明亞克力板材質使用金屬骨架固定或板材焊接而成，一般適應于實驗室或小型物料的存放。為了更好的搭配空間的布局，金屬材質的氮氣柜市場占有率要遠遠高于亞克力板材的氮氣柜的。無論從耐用性，承重性及后期維護的便利性金屬材質的氮氣柜要優于透明亞克力板材質的氮氣柜。

氮氣控制方式，最原始的氮氣直沖型，氮氣消耗量最大且無數據直觀顯示，近年逐步被替換成濕度或氧含量控制氮氣方式。當下市場最普及的濕度控制氮氣方式不僅可以節約氮氣，相對濕度顯示，直觀明了。可以根據的要求設置濕度值或氧含量，滿足物料存放的環境值。相對于壓力控制型氮氣柜，濕度/氧含量控制型氮氣柜，更加直觀，簡單且比壓力控制氮氣柜更加節約氮氣柜。